¿Qué hace el cabezal de ducha de PECVD?

0020-30797 Cabezal de ducha de placa perforada

0021-35869 CABEZAL DE DUCHA

 

¿Qué hace el cabezal de ducha en el proceso PECVD??

Como se muestra en la figura anterior, el cabezal de ducha, también traducido como rociador, cabezal de ducha, etc., generalmente se ajusta perfectamente a la parte superior de la zona de reacción y actúa como una entrada de gas, inyectando el gas de reacción de manera uniforme en la cámara a través de los pequeños orificios. en su superficie. Por supuesto, no es sólo la función de distribución de gas, algunos están diseñados para ser utilizados como parte del electrodo.
Función de ¿Cabezal de ducha?

La superficie del cabezal de ducha está cubierta de poros densos y, después de que el gas de reacción fluye, se divide uniformemente en varias partes y se transfiere a la parte superior de la oblea a un caudal constante, de modo que el gas de reacción cubra uniformemente toda la superficie. superficie de la oblea para producir un recubrimiento más uniforme. Cuando el cabezal de ducha forma parte del electrodo, la fuente de energía de RF genera un campo eléctrico uniforme en su superficie, capaz de formar un plasma homogéneo.

¿Qué metal se utiliza generalmente para hacer un cabezal de ducha?

El más común es el aluminio, que tiene una alta conductividad térmica y resistencia a la corrosión. También se puede utilizar cuarzo o cerámica para hacer un cabezal de ducha.