El transportador de prevacío (Loadlock) y el cuerpo principal de la plataforma de transferencia

El transportador de pre-vacío es una cámara de transferencia para la atmósfera y el vacío, que se utiliza para aislar la cámara de reacción del contacto directo con la atmósfera exterior, a fin de garantizar la limpieza de la cámara de reacción y reducir la probabilidad de contaminación de la cámara de reacción. Cuando el módulo frontal necesita recoger y colocar la oblea en el transportador de pre-vacío, es necesario llenarlo con nitrógeno, la presión de aire en la cavidad se ajusta al estado atmosférico y luego la válvula de transmisión del transportador de pre-vacío en el lado del módulo frontal se abre para recoger y colocar la oblea; Al recoger y colocar obleas desde la cámara de transferencia (parte de la plataforma de transferencia) al cuerpo de transferencia de pre-vacío, es necesario utilizar una bomba de vacío para bombear el gas en el cuerpo de transferencia de pre-vacío, ajustar al estado de vacío y luego abrir la válvula de transferencia en el otro lado del cuerpo de transferencia de pre-vacío, y luego realizar la recogida y colocación de la oblea.

Los pasos específicos para transportar la oblea en el sistema de transferencia son los siguientes: se cierran todas las puertas → se abre el puerto de carga de obleas, se abre la puerta del casete de obleas → el manipulador atmosférico toma la oblea del bote de obleas del casete → la oblea se coloca en el alineador → se calibra la posición de la oblea → se llena el LoadLockA con gas nitrógeno → se abre la puerta del LoadLockA → el manipulador atmosférico coloca la oblea en el LoadLockA → cierra la puerta del LoadLockA → el LoadLockA hace el vacío → abre la puerta de la cámara de reacción → el manipulador vacío coloca la oblea en la cámara de reacción → tiene lugar la reacción → una vez completada la reacción, se hace el vacío en la cámara de reacción → se abre la puerta de la cámara de transferencia → el manipulador de vacío mueve la oblea a la cámara de transferencia → cierra la puerta de la cámara de reacción → abre la puerta de LoadLockB, → el manipulador de vacío mueve la oblea a LoadLockB → cierra la puerta de LoadLockB → LoadLockB se llena de nitrógeno → abre la puerta de LoadLockB → el manipulador atmosférico mueve la oblea fuera de LoadLockB → cierra LoadLockB