Sistema de gas del equipo de grabado

El paso de grabado requiere el uso de una variedad de gases de grabado, que también se conocen como medios de proceso en el proceso de reacción. El sistema de gas del equipo de grabado es responsable del transporte del medio de proceso desde la fuente de gas hasta el interior de la cámara de reacción, que se compone principalmente de una caja de gas (Gasbox), una placa homogeneizadora (Gaspanel), un medidor de flujo (MFC) y una tubería.

La función de la caja de gas es ajustar la presión del medio de proceso gaseoso desde la fuente de gas (cilindro de gas especial o la tubería de gas de la fábrica de obleas) a través de una variedad de válvulas de control, y luego introducirlo en la tubería de ruta de gas del equipo de grabado. Debido a que la mayoría de los gases utilizados en la fabricación de circuitos integrados son peligrosos, para garantizar la seguridad, el gabinete de la caja del circuito de gas generalmente está recubierto con anticorrosión y se instala una ventana de observación externa, y el interior también está en un estado de presión negativa. Además, la caja de gas está equipada con una variedad de sistemas de monitoreo, que cortan inmediatamente el suministro de gas y emiten alarmas una vez que se detecta una fuga de gas. El panel de gas es uno de los componentes centrales del sistema de gas y también es una pieza metálica semiconductora que es difícil de procesar. El disco homogeneizador generalmente está compuesto por cuatro capas de discos metálicos, cada uno de los cuales tiene muchos orificios pequeños y rutas de aire pequeñas y complejas. Después de que el gas de grabado se ajusta mediante la caja de ruta de gas, ingresa a la tubería y luego pasa a través de la bandeja de homogeneización y, finalmente, se transporta a la cámara de reacción a una velocidad estable y uniforme. El disco de homogeneización debe tener las características de resistencia a altas temperaturas, baja contaminación por partículas y resistencia a la corrosión, y se deben utilizar métodos especiales para soldar entre los discos de metal multicapa para evitar fugas internas. Debido a que el disco de homogeneización está relacionado con el paso de entrada de aire central del grabado, algunas empresas de equipos optan por cooperar con empresas de procesamiento de metales de precisión para desarrollar y producir discos de homogeneización; Además, las válvulas Fujikin en Japón también son importantes fabricantes de discos uniformes.

El equipo de grabado utiliza un medidor de flujo másico (MFC) para monitorear y controlar la velocidad a la que los gases de grabado ingresan a la cámara de reacción. Debido a que la velocidad de entrada de aire está relacionada con la estabilidad de la reacción de grabado, el equipo de grabado tiene altos requisitos para el rango de flujo, la precisión de control y el tiempo de respuesta de estabilidad de flujo del medidor de flujo másico. Los medidores de flujo se pueden dividir en tipo de circuito analógico, tipo de circuito digital y tipo de compensación de cambio de presión. El medidor de flujo de compensación de cambio de presión puede compensar automáticamente la fluctuación de la presión de la fuente de gas para garantizar el flujo estable de salida de gas a la cámara de reacción. El principal fabricante de medidores de flujo másico es Horiba en Japón.