¿Qué es una sola boquilla de fluido frente a una boquilla de dos fluidos?

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¿Qué es la boquilla??

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Las boquillas son un componente clave en el equipo de procesamiento de semiconductores húmedos, que se utiliza para dispersar la solución en un patrón de pulverización y rociarlo en la superficie de la oblea para reacción química, limpieza, grabado y otros fines. Por lo general, se divide en dos tipos: boquillas de un solo fluido y dos fluido.

¿Qué es una boquilla de fluido sola frente a una boquilla de dos fluidos?

Boquillas de una sola fluida: solo se requiere un fluido y el efecto de pulverización está controlado por el cambio de abertura de la boquilla y diseño interno. 2. Boquilla de fluido: el efecto de pulverización se logra mezclando dos fluidos diferentes (medicina líquida y nitrógeno).
Segundo, el principio de las boquillas fluidas


El diseño de la boquilla de dos fluidos es variado, y el diseño de la imagen se explica aquí.
Esta imagen muestra la estructura de dos boquillas de dos fluidos, la boquilla de mezcla externa y la boquilla de mezcla interna.
Boquilla de mezcla externa: el líquido se rocía a través del canal líquido en el centro, y el aire de atomización (generalmente aire comprimido o nitrógeno) se rocía a alta velocidad desde múltiples canales en la periferia. Los líquidos y los gases se mezclan en el exterior de la boquilla, y la corriente de aire de alta velocidad desgarra la corriente en pequeñas gotas, creando un efecto de atomización fino y uniforme, generalmente en forma de ventilador o aerosol cónico.
Los gases líquidos y atomizados en la boquilla de mezcla interna se encuentran en la zona de mezcla dentro de la boquilla y solo se expulsan de la boquilla a alta velocidad después de la mezcla interna. Dado que la mezcla ya se realiza internamente, las gotas expulsadas son de menor tamaño y se atomizan de manera más uniforme.

0200-01808 Notch de 300 mm de cerámica de anillo único

¿Las ventajas de dos fluidos sobre fluidos individuales?
1. Descubre el consumo de solución química
2. La fuerza de impacto mecánico es fuerte, es fácil ingresar a la estructura compleja y la eficiencia de eliminación es alta

3. Las gotas son ultra finas (aproximadamente unos pocos micras) y altamente atomizadas