Factores que influyen en el estrés cinematográfico en PECVD

¿Cuáles son los factores que afectan el estrés de las películas de PECVD? ¿Cuáles son las ventajas y desventajas de cada uno?

Tomando sih 4+ nh3/n2 para formar películas delgadas sinx, y sih 4+ nh 3+ no2 para producir películas delgadas de sion, he resumido algunos puntos aquí, por supuesto, no limitado a Estos factores: temperatura, potencia/presión, composición del gas, frecuencia y el contenido del gas diluido HE.

Temperatura (película Sinx)

Cuanto mayor sea la temperatura, mayor es la tensión de tracción.

0010-37264 Cámara de alojamiento Multi Slot Ass'y

Potencia/presión (película sinx)

Como se muestra en la figura anterior, a presiones más bajas (400 MTORR), las tensiones en todas las condiciones de potencia están sesgadas hacia el estrés por compresión; A medida que aumenta la presión, la tensión de compresión cambia gradualmente al estrés por tracción; A presiones más altas (600-700 mTorr), las tensiones tienden a tensiones de tracción. Las presiones positivas y negativas en el diagrama representan tensiones de tracción y tracción, respectivamente. Tipos y proporciones de gases (Sion Films)

Como se muestra en la figura anterior, a medida que aumenta la relación de N2O/NH3, la película cambia gradualmente del estrés por tracción al estrés por compresión. Modulación de baja frecuencia (SINX Films)

0040-22451 Pedestal 150 mm de reunido, contacto de 3 puntos

Como se muestra en la figura anterior, la tensión de la película cambia gradualmente del estrés por tracción al estrés por compresión a medida que aumenta la proporción del tiempo dedicado a la salida de la fuente de alimentación a bajas frecuencias. El contenido del gas diluido

Como se muestra en la figura anterior, cuando la proporción de gas diluido aumenta gradualmente, el estrés de la película cambia gradualmente del estrés por tracción al estrés por compresión. Por lo tanto, el ajuste del proceso de la película a menudo debe ajustarse a un valor óptimo, y cualquier parámetros de proceso que sea demasiado grande o demasiado pequeño causará una calidad de película imperfecta.

 

FIN