¿Los beneficios del grabado seco utilizando una fuente de alimentación pulsada?

¿Cuáles son las ventajas del modo de pulso sobre el modo de alimentación de onda continua? ¿Cuáles son los modos de potencia de onda continua frente a las olas continuas?

Como se muestra en la figura anterior, la primera es CW, onda continua. La onda continua (CW) se refiere a una forma de onda que es continua y constante en el tiempo, con potencia e intensidad constantes. Por lo general, aparece como una señal de frecuencia única con un espectro estrecho y una salida estable. La potencia promedio del CW es igual a la potencia máxima, y ​​las características de la señal son simples y fáciles de controlar. La principal ventaja de CW es su alta estabilidad, lo que lo hace ideal para aplicaciones donde la continuidad de la señal es crítica. Al mismo tiempo, la señal CW tiene un nivel de ruido bajo, que facilita la medición y el análisis precisos. Además, el diseño del sistema CW es relativamente simple, y los parámetros de control, como la potencia y la frecuencia, se pueden ajustar fácilmente. En el modo CW, la salida de potencia es una forma de onda continua sin pulsos entrecortados.

0040-31980 Caja de gas EC WXZ

El segundo es PW, potencia pulsada. Una onda de pulso es una forma de onda que se interrumpe en el tiempo y consiste en una serie de señales con alta intensidad durante un corto período de tiempo. Los pulsos tienen una duración limitada y se repiten después de un cierto período de tiempo. La onda de pulso tiene las características de la potencia máxima instantánea mucho más alta que la potencia promedio, y el espectro de salida es amplio y contiene más componentes de frecuencia. La mayor ventaja de la onda de pulso es su potencia máxima instantánea, que puede liberar energía extremadamente alta en un corto período de tiempo. Además, debido a la salida intermitente de la señal, la potencia promedio de la onda de pulso es baja, lo que reduce efectivamente la presión de carga de calor del equipo. Como resultado, es ideal para aplicaciones que requieren alta resolución temporal o alta potencia instantánea. En modo PW, la potencia de salida de la fuente de alimentación está fuera de la parte del tiempo y en parte del tiempo.

0040-09095 caja de gas, WCVD
Características de suministros pulsados?
1, el trabajo de intervalo puede disipar el calor a tiempo, para que los reactivos puedan tener tiempo para transportar a la superficie de la oblea.

2, la potencia de salida se puede aumentar en gran medida, la duración es extremadamente corta y la potencia del pulso, la frecuencia, el tiempo, etc. se puede controlar con mucha precisión.
Beneficios de usar el modo de pulso?
1, elimine los efectos de microfasgo. En grabado estructural con altas relaciones de aspecto, como agujeros profundos o surcos profundos. Los agujeros o ranuras de tamaño más pequeño tienen una velocidad de grabado más pequeña que los orificios o ranuras de mayor tamaño. Si se usa el modo CW, el efecto de microfasión se puede mejorar al reducir la presión y aumentar el voltaje de polarización, pero la capacidad de mejorar es limitada, mientras que el efecto de microfasgo puede mejorarse enormemente utilizando el modo de pulso.

2, reduce el daño de la superficie de la oblea. Si se usan pulsos en un suministro de polarización, el tiempo que le toma al plasma atacar la oblea se puede reducir, lo que a su vez reduce el daño de la superficie.